[实用新型]安全性能较高的扩散炉有效
| 申请号： | 201420279478.8 | 申请日： | 2014-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN203950830U | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 张晶;张兴德;严义博;周平 | 申请（专利权）人： | 江阴鑫辉太阳能有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/22 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214426 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种安全性能较高的扩散炉，它包括扩散炉炉体（1），所述扩散炉炉体（1）的周围设置有四台轴流风机（2），四台轴流风机（2）通过四台电机（3）驱动，四台电机（3）分别位于主电路（4）上引出的并联设置的四根支电路（5）上，其特征在于主电路（4）上设置有第一断路器（7），支电路（5）上设置有第二断路器（8），第二断路器（8）的短路短延时优于第一断路器（7）的短路短延时。该安全性能较高的扩散炉具有防止主电源断路器跳闸，提高硅片扩散质量的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 安全 性能 扩散 | ||
【主权项】：
一种安全性能较高的扩散炉，它包括扩散炉炉体（1），所述扩散炉炉体（1）的周围设置有四台轴流风机（2），四台轴流风机（2）通过四台电机（3）驱动，四台电机（3）分别位于主电路（4）上引出的并联设置的四根支电路（5）上，其特征在于主电路（4）上设置有第一断路器（7），支电路（5）上设置有第二断路器（8），第二断路器（8）的短路短延时优于第一断路器（7）的短路短延时。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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