[实用新型]一种膜法氦气提纯装置系统

摘要

本实用新型涉及一种膜法氦气提纯装置系统，包括混合氦气柜、第一预处理器、第一中空纤维膜、第二预处理器、第二中空纤维膜和氦气储罐；混合氦气柜的气体出口与第一预处理器的进口连接，第一预处理器的出口与第一中空纤维膜的进口连接；第一中空纤维膜的非渗透气出口与废气回收装置连接或与大气相通；第一中空纤维膜的渗透气出口与第二预处理器的进口连接，第二预处理器的出口与第二中空纤维膜的进口连接；第二中空纤维膜的非渗透气出口与第一预处理器的进口连接，第二中空纤维膜的渗透气出口与氦气储罐的气体进口连接；该实用新型采用膜法提纯技术，对低浓度的氦气进行回收再利用，设备体积小、工艺简单、操作方便等特点。

主权项

一种膜法氦气提纯装置系统，其特征在于，包括混合氦气柜(1)、第一预处理器(3)、第一中空纤维膜(4)、第二预处理器(6)、第二中空纤维膜(7)和氦气储罐(9)；所述混合氦气柜(1)设有气体出口；所述第一预处理器(3)设有进口和出口；所述第一中空纤维膜(4)设有进口、渗透气出口和非渗透气出口；所述第二预处理器(6)设有进口和出口；所述第二中空纤维膜(7)设有进口、渗透气出口和非渗透气出口；所述氦气储罐(9)设有气体进口；所述混合氦气柜(1)的气体出口与所述第一预处理器(3)的进口经管线连接，所述第一预处理器(3)的出口与所述第一中空纤维膜(4)的进口经管线连接；所述第一中空纤维膜(4)的非渗透气出口与废气回收装置经管线连接或与大气相通；所述第一中空纤维膜(4)的渗透气出口与所述第二预处理器(6)的进口经管线连接，所述第二预处理器(6)的出口与第二中空纤维膜(7)的进口经管线连接；所述第二中空纤维膜(7)的非渗透气出口与所述第一预处理器(3)的进口经管线连接，所述第二中空纤维膜(7)的渗透气出口与所述氦气储罐(9)的气体进口经管线连接。