[实用新型]一种用于多晶铸锭生产的二次掺杂装置有效
| 申请号： | 201420251182.5 | 申请日： | 2014-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN203866405U | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 张苏州 | 申请（专利权）人： | 浙江溢闳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 | 代理人： | 曹康华 |
| 地址： | 314302 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于多晶铸锭生产的二次掺杂装置，包括多晶铸锭炉、坩埚和进气管，所述坩埚固定安装在多晶铸锭炉内，所述进气管的一端与坩埚上部相连接，进气管的另一端延伸到多晶铸锭炉的外部，所述进气管位于多晶铸锭炉外部的一端还依次连接有进气支管和三通容器，所述三通容器的三个接口分别为用于连接氩气供应装置的氩气进气口、用于与进气支管连接的进气接口和用于将掺杂剂加入三通容器的掺杂接口，所述氩气进气口处设有一号阀，所述进气接口处设有二号阀，所述掺杂接口处设有三号阀。本实用新型在使用时无需打开炉腔，进而保证不将空气混入炉腔内，可确保多晶硅的品质；且本装置掺杂过程无需停止设备运行，可提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 铸锭 生产 二次 掺杂 装置 | ||
【主权项】：
一种用于多晶铸锭生产的二次掺杂装置，包括多晶铸锭炉（1）、坩埚（2）和进气管（3），所述坩埚（2）固定安装在多晶铸锭炉（1）内，所述进气管（3）的一端与坩埚（2）上部相连接，进气管（3）的另一端延伸到多晶铸锭炉（1）的外部，其特征在于：所述进气管（3）位于多晶铸锭炉（1）外部的一端还依次连接有进气支管（4）和三通容器（5），所述三通容器（5）的三个接口分别为用于连接氩气供应装置的氩气进气口（51）、用于与进气支管（4）连接的进气接口（52）和用于将掺杂剂加入三通容器（5）的掺杂接口（53），所述氩气进气口（51）处设有一号阀（54），所述进气接口（52）处设有二号阀（55），所述掺杂接口（53）处设有三号阀（56）。
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