[实用新型]可调节靶材有效
| 申请号： | 201420248450.8 | 申请日： | 2014-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN203904449U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 焦飞;乐务时;钱涛 | 申请（专利权）人： | 星弧涂层新材料科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陆明耀;陈忠辉 |
| 地址： | 215122 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可调节靶材，包含靶座，所述靶座的突肩上设有磁场，所述靶座的上方设有靶材，所述靶座与消耗后的靶材之间设有调节垫圈。本实用新型的有益效果主要体现在：减少换靶频次，延长有效生产时间；靶材和工件之间距离保持稳定，有效解决由于靶材消耗导致靶材表面磁场的变化，可以达到靶材表面磁场始终在控制范围内；靶材的利用率得到大幅度提高；靶材的冷却始终充分；涂层的沉积效率和涂层性能保持稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 | ||
【主权项】：
一种可调节靶材，包含靶座（1），所述靶座（1）的突肩上设有磁场（2），所述靶座（1）的上方设有靶材（4），其特征在于：所述靶座（1）与消耗后的靶材（4）之间设有调节垫圈（3）。
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