[实用新型]可调节靶材有效
| 申请号： | 201420248450.8 | 申请日： | 2014-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN203904449U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 焦飞;乐务时;钱涛 | 申请（专利权）人： | 星弧涂层新材料科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陆明耀;陈忠辉 |
| 地址： | 215122 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 调节 | ||
【权利要求书】：
1.一种可调节靶材，包含靶座（1），所述靶座（1）的突肩上设有磁场（2），所述靶座（1）的上方设有靶材（4），其特征在于：所述靶座（1）与消耗后的靶材（4）之间设有调节垫圈（3）。
2.如权利要求1所述的可调节靶材，其特征在于：所述靶座（1）与调节垫圈（3）之间有相配合的拼接结构。
3.如权利要求1所述的可调节靶材，其特征在于：所述靶材（4）与调节垫圈（3）之间有相配合的拼接结构。
4.如权利要求1所述的可调节靶材，其特征在于：所述靶座（1）、靶材（4）、调节垫圈（3）三者形成的内部空间（5）为冷却水的收容空间。
5.如权利要求1所述的可调节靶材，其特征在于：所述靶材（4）的初始厚度为30-60mm。
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