[实用新型]一种用于拉制区熔硅单晶硅棒的高频线圈

摘要

一种用于拉制区熔硅单晶硅棒的高频线圈，涉及高频线圈技术领域，本实用新型通过在高频线圈(2)的中部设置拉制孔(5)，在所述拉制孔向外设置一个导流槽(4)，迫使电流往高频线圈拉制孔以外的地方分流，进而克服电流走近路造成线圈中部温度高外围温度的低的弊端，提高了高频线圈的加热面积，本实用新型大大提高了能量利用率，降低生产成本、大量节约能源等优点，易于在区熔法生产单晶硅行业推广实施。

主权项

一种用于拉制区熔硅单晶硅棒的高频线圈，包括高频线圈(2)和连接座(8)，其特征是：在高频线圈(2)的上部面中部设有向下的环形台阶(3)，在高频线圈(2)的下部面中部设有向上凹陷面(11)，在高频线圈(2)的外部环绕设置冷却介质通路(10)，所述冷却介质通路(10)的两端分别连接连接座(8)，在两连接座(8)之间的高频线圈(2)上设有自高频线圈(2)外缘贯通至拉制孔(5)的开口(6)，所述拉制孔(5)设置在高频线圈(2)的中部，在拉制孔(5)向外设有一个导流槽(4)形成所述的用于拉制区熔硅单晶硅棒的高频线圈。