[实用新型]一种曝光装置和曝光系统有效
| 申请号： | 201420207363.8 | 申请日： | 2014-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN203930324U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 马群;张琨鹏;章兵 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 017020 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种曝光装置和曝光系统。该曝光装置包括光源，还包括曝光管，曝光管设置在光源的发光侧，光源发出的光线能从曝光管的入口射入曝光管内，并从曝光管的出口射出，照射到待曝光膜上，以使待曝光膜经曝光后形成线条状图案和/或点状图案。该曝光装置通过设置曝光管，使待曝光膜经曝光后形成线条状图案和/或点状图案，从而解决了采用掩模板几乎无法实现的细小线条状图案和细小点状图案的曝光，同时还提高了曝光精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种曝光装置，包括光源，其特征在于，还包括曝光管，所述曝光管设置在所述光源的发光侧，所述光源发出的光线能从所述曝光管的入口射入所述曝光管内，并从所述曝光管的出口射出，照射到待曝光膜上，以使所述待曝光膜经曝光后形成线条状图案和/或点状图案。
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