[实用新型]可提升多晶制绒均匀性的进液管排列结构

摘要

本实用新型涉及一种可提升多晶制绒均匀性的进液管排列结构，包括多根依次平行排列的进液管，其特征是：所述进液管的轴向与硅片的行进方向垂直；在所述进液管的管壁一侧均匀布置若干出液口，进液管的管壁另一侧设置进液口；所述进液管的出液口朝向下方布置，出液口相对垂直方向倾斜设置。所述出液口与垂直方向呈45°～60°的倾斜角度。至少一根进液管的出液口的倾斜方向与其他进液管出液口的倾斜方向不同。所述进液管的数量为五根或五根以上。本实用新型重新设置进液管的排布位置，重点解决各道硅片所处反应环境不同的问题，使各道片子无论何时均处于同一根进液管提供的反应环境下，最大程度确保各道片子腐蚀力度一致。

主权项

一种可提升多晶制绒均匀性的进液管排列结构，包括多根依次平行排列的进液管（1），其特征是：所述进液管（1）的轴向与硅片的行进方向垂直；在所述进液管（1）的管壁一侧均匀布置若干出液口（3），进液管（1）的管壁另一侧设置进液口（4）；所述进液管（1）的出液口（3）朝向下方布置，出液口（3）相对垂直方向倾斜设置。