[实用新型]一种镀膜设备有效
| 申请号： | 201420169086.6 | 申请日： | 2014-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN203890428U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 林楚兴 | 申请（专利权）人： | 广东光耀玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C03C17/00 |
| 代理公司： | 汕头市南粤专利商标事务所(特殊普通合伙) 44301 | 代理人： | 林逸平 |
| 地址： | 515000 广东省汕头*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种镀膜设备。其从前到后依次设置进气层、过滤层、入口缓冲室、粗抽转换室、细抽转换室、镀膜室，出口缓冲室、过滤层、出气层，在粗抽转换室和细抽转换室两侧分别连接滑阀真空泵和罗茨泵。所述的罗茨泵为主泵，滑阀真空泵为前级泵串联组成真空机组，真空机组同时连接粗抽转换室、细抽转换室，在连接处还设置有开关阀门，所述的过滤层、过滤层为浅层介质过滤层。本实用新型的有益效果是：缩短作业时间，提高产量，又不影响产品质量，大大提高生产效率，而且镀膜质量同时得到提高，而进气层和缓冲室的设置保证镀膜室内气体不会泄漏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种镀膜设备，主要包括进气层（1）、过滤层（2）、入口缓冲室（3）、粗抽转换室（4）、细抽转换室（5）、镀膜室（6），出口缓冲室（12），其特征在于：从前到后依次设置进气层（1）、过滤层（2）、入口缓冲室（3）、粗抽转换室（4）、细抽转换室（5）、镀膜室（6），出口缓冲室（12）、过滤层（7）、出气层（8），在粗抽转换室（4）和细抽转换室（5）两侧分别连接滑阀真空泵（9）和罗茨泵（10）。
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