[实用新型]用于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片的制备装置有效
| 申请号： | 201420135916.3 | 申请日： | 2014-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN203760505U | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 蔡卓然;高海;刘智;尹祥麟;刘正伟 | 申请（专利权）人： | 上海卓霖信息科技有限公司;江苏卓宁光电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 金碎平 |
| 地址： | 200083 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片的制备装置，包括机械手和反应腔，所述反应腔内设有石墨盘，所述石墨盘的下方设有射频感应加热器，所述石墨盘的上方设有喷头，所述反应腔上还设有射频等离子源装置，所述喷头和射频等离子源装置与气体输送管道相连。本实用新型提供的用于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片的制备装置，利用机械手输送衬底和样品，通过射频感应加热器对衬底加热及控温，控制各种反应气体在反应腔生成LED外延片具有缺陷密度低、结晶质量好，发光性能好的优点，且制备成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 lao 衬底 极性 led 外延 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种用于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片的制备装置，其特征在于，包括机械手（26）和反应腔（29），所述反应腔（29）内设有石墨盘（28），所述石墨盘（28）的下方设有射频感应加热器（27），所述石墨盘（28）的上方设有喷头（30），所述反应腔（29）上还设有射频等离子源装置（31），所述喷头（30）和射频等离子源装置（31）与气体输送管道相连。
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