[实用新型]一种NH3声表面波气体传感器有效
| 申请号： | 201420105674.3 | 申请日： | 2014-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN203908996U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 朱小萍;刘传祥 | 申请（专利权）人： | 淮南联合大学;朱小萍 |
| 主分类号： | G01N29/036 | 分类号： | G01N29/036 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 232038 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种NH3声表面波气体传感器，包括双层压电衬底、输入叉指换能器、输出叉指换能器、单层敏感薄膜、对称镂空反射栅组成，该声表面波气体传感器结构简单、制作工艺简化、选择性好、灵敏度高、性能稳定、检测质量高、导热性和耐热性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 nh sub 表面波 气体 传感器 | ||
【主权项】：
一种NH3声表面波气体传感器，由双层压电衬底、输入叉指换能器、输出叉指换能器、单层敏感薄膜、对称镂空反射栅组成，其特征在于，所述输入叉指换能器、输出叉指换能器、单层敏感薄膜、对称镂空反射栅固定在双层压电衬底上；输入叉指换能器、输出叉指换能器位于单层敏感薄膜两端呈对称分布；输入叉指换能器、输出叉指换能器和对称镂空反射栅平行排列，对称镂空反射栅位于输入叉指换能器、输出叉指换能器的外端。
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