[实用新型]一种NH3声表面波气体传感器

权利要求书

1.一种NH₃声表面波气体传感器，由双层压电衬底、输入叉指换能器、输出叉指换能器、单层敏感薄膜、对称镂空反射栅组成，其特征在于，所述输入叉指换能器、输出叉指换能器、单层敏感薄膜、对称镂空反射栅固定在双层压电衬底上；输入叉指换能器、输出叉指换能器位于单层敏感薄膜两端呈对称分布；输入叉指换能器、输出叉指换能器和对称镂空反射栅平行排列，对称镂空反射栅位于输入叉指换能器、输出叉指换能器的外端。

2.根据权利要求1所述的一种NH₃声表面波气体传感器，其特征在于，所述双层压电衬底采用的是ZnO和金刚石构成的双层膜结构，金刚石薄膜是利用微波等离子CVD法制备，厚度为18-22μm，ZnO薄膜是使用超真空射频磁控溅射系统在金刚石薄膜上制备，厚度为0.12-0.22μm。

3.根据权利要求1所述的一种NH₃声表面波气体传感器，其特征在于，所述单层敏感薄膜采用的是L-谷氨酸-HLc并掺入聚乙二醇为膜材料构成的单层敏感薄膜，采用LB成膜法制备，厚度为50-100nm。

4.根据权利要求1所述的一种NH₃声表面波气体传感器，其特征在于，所述输入叉指换能器、输出叉指换能器和对称镂空反射栅是在双层压电衬底上制备Pt膜，再用刻蚀工艺将Pt膜制成叉指换能器和镂空反射栅，厚度为45-55nm。