[实用新型]新型离子束流形状探测器有效
申请号: | 201420072428.2 | 申请日: | 2014-02-20 |
公开(公告)号: | CN203859096U | 公开(公告)日: | 2014-10-01 |
发明(设计)人: | 郑静静 | 申请(专利权)人: | 郑静静 |
主分类号: | H01J37/244 | 分类号: | H01J37/244 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 龚敏 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型离子束流形状探测器,在陶瓷背板上具有逐一间隔摆放的石墨电极和陶瓷板。其中检测电极为所述的石墨电极,所述石墨电极和所述陶瓷板的背部有用于固定的螺孔,所述石墨电极和所述陶瓷板的大小一样,交错排布。本实用新型的新型离子束流形状探测器,适用于检测两种不同束流形状的检测器,同时兼具检测束流稳定性的功能。 | ||
搜索关键词: | 新型 离子束 流形 探测器 | ||
【主权项】:
一种新型离子束流形状探测器,其特征在于,在陶瓷背板上具有逐一间隔摆放的石墨电极和陶瓷板,所述石墨电极和所述陶瓷板均为边长5mm的正方形。
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