[实用新型]一种硅烷法生产区熔多晶硅棒的装置

摘要

本实用新型公开了一种硅烷法生产区熔多晶硅棒的装置。装置包括进料系统、还原系统、尾气系统以及尾气冷却系统，进料系统包括预热器、混合器、氢气流量计、硅烷流量计，还原系统包括还原炉，尾气系统包括尾气冷却器、尾气过滤器、分析系统、粗过滤器、精过滤器、压缩机、压缩机出口过滤器，尾气冷却系统包括热交换器、液氮系统冷却器、气液分离器、吸附塔、硅烷加热器、还原炉进口过滤器。本实用新型最终可生产出纯度达到11N以上的区熔级多晶硅棒，多晶硅棒纯度高，不易产生硅裂,有良好的抗压抗磨性能，本实用新型制备的多晶硅棒可以直接作为区域熔炼法单晶硅供料棒使用，工艺过程能耗比现有技术低，产品完全满足集成电路和半导体行业的使用要求。

主权项

一种硅烷法生产区熔多晶硅棒的装置，其特征在于，包括进料系统、还原系统、尾气系统以及尾气冷却系统，进料系统包括预热器（2）、混合器（3）、氢气流量计（4）、硅烷流量计（5），还原系统包括还原炉（1），尾气系统包括尾气冷却器（6）、尾气过滤器（7）、分析系统（8）、粗过滤器（9）、精过滤器（10）、压缩机（11）、压缩机出口过滤器（12），尾气冷却系统包括热交换器（13）、液氮系统冷却器（14）、气液分离器（15）、吸附塔（16），氢气流量计（4）、硅烷流量计（5）与混合器（3）相连，混合器（3）、预热器（2）、还原炉（1）、尾气冷却器（6）、尾气过滤器（7）顺次相连，尾气过滤器（7）分别与分析系统（8）、粗过滤器（9）相连，粗过滤器（9）、精过滤器（10）、压缩机（11）、压缩机出口过滤器（12）、热交换器（13）的热物料入口顺次相连，热交换器（13）的热物料出口、液氮系统冷却器（14）、气液分离器（15）、吸附塔（16）顺次相连，吸附塔（16）与热交换器（13）的冷物料入口相连，热交换器（13）的冷物料出口与还原炉进口过滤器（18）相连，还原炉进口过滤器（18）与氢气流量计（4）相连，气液分离器（15）底部硅烷出口与硅烷加热器（17）相连。