[实用新型]一种用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜微器件有效
| 申请号： | 201420043016.6 | 申请日： | 2014-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN203732747U | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 孙理斌;胡晓琳;史斌;叶鸣;徐越;王超;张冬仙;蒋建中 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜微器件。一种热塑性强、玻璃转变温度低、平整度高、耐腐蚀的镧基金属玻璃薄膜，该系合金的结构式为La100-x-yCoxAly,其中x为Co元素的原子百分数，y为Al元素的原子百分数，5≤x≤35,5≤y≤35，25≤x+y≤50在锆吸附的氩气电弧中电弧熔炼四次以上，获得混合均匀的合金块体，最后利用线切割得到符合镀膜要求的靶材，利用直流磁控溅射，获得所需厚度的金属玻璃薄膜。用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜微器件，获得的具有偏振不敏感特性的二维亚波长透射光栅滤波片,光栅单元为凸起正方形阵列，高度200nm，正方形阵列周期240nm，正方形边长120nm，具有对入射光偏振不敏感特性，可以提高入射光的透射率，实现对蓝光的筛选。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 塑性变形 加工 金属 玻璃 薄膜 器件 | ||
【主权项】：
一种用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜微器件，其特征在于，在镧基金属玻璃薄膜上获得的具有偏振不敏感特性的二维亚波长透射光栅滤波片,光栅单元为凸起正方形阵列，高度200nm，正方形阵列周期240nm，正方形边长120nm，该滤光片具有对入射光偏振不敏感特性，可以提高入射光的透射率，实现对蓝光的筛选。
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