[实用新型]一种去除多晶硅中磷杂质的设备有效
| 申请号： | 201420016082.4 | 申请日： | 2014-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN203754434U | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 罗立国;方红承;彭金鑫;母清林;周冰 | 申请（专利权）人： | 黑河合盛光伏科技有限公司;浙江合盛硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 沈自军 |
| 地址： | 164399 黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种去除多晶硅中磷杂质的设备，包括真空室、真空室内的石墨坩埚、设于石墨坩埚外部的保温套以及缠绕在保温套外壁上的感应线圈，其特征在于，所述石墨坩埚内设有搅拌机构，所述搅拌机构包括竖直设置的搅拌桨以及导流筒，所述导流筒通过安装架与真空室顶壁固定连接，所述搅拌桨的桨叶处于所述导流筒内。本实用新型通过在石墨坩埚内设置搅拌机构，可以让熔融的硅液在石墨坩埚内上下翻滚，使得磷蒸汽能够迅速挥发，降低能耗和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 多晶 硅中磷 杂质 设备 | ||
【主权项】：
一种去除多晶硅中磷杂质的设备，包括真空室、真空室内的石墨坩埚、设于石墨坩埚外部的保温套以及缠绕在保温套外壁上的感应线圈，其特征在于，所述石墨坩埚内设有搅拌机构，所述搅拌机构包括竖直设置的搅拌桨以及导流筒，所述导流筒通过安装架与真空室顶壁固定连接，所述搅拌桨的桨叶处于所述导流筒内。
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