[实用新型]一种多层存储台装置有效
| 申请号： | 201420001669.8 | 申请日： | 2014-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN203638501U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 李广义;王锐廷;赵宏宇;张豹;裴立坤 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G1/02 | 分类号： | B65G1/02;B65G49/07;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陶金龙 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多层存储台装置，其调平底座包括位于下层的支撑板，位于上层的调节板，设于支撑板和调节板之间的调平部件，以及固定支撑板和调节板的锁紧部件；其支撑脚支撑为成对的支撑脚支撑架，调节板通过一对相向设置的连接侧板与所述支撑脚支撑架固接，支撑脚支撑架在连接侧板的内侧可沿竖直方向相向多层设置；每层支撑脚支撑架的上表面设有若干个支撑脚。本实用新型可使晶圆得以多层存储，提高机械手的利用率，增加生产产量，具有结构简单、易实现、可节省设备占地面积的显著特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 存储 装置 | ||
【主权项】：
一种多层存储台装置，包括底座，支撑脚支撑，支撑脚，其特征在于，所述底座为二层结构的调平底座，包括位于下层的支撑板，位于上层的调节板，设于支撑板和调节板之间的调平部件，以及固定支撑板和调节板的锁紧部件；所述支撑脚支撑为成对的支撑脚支撑架，所述调节板通过一对相向设置的连接侧板与所述支撑脚支撑架固接，其中，所述成对的支撑脚支撑架在所述连接侧板的内侧可沿竖直方向相向多层设置；所述支撑脚支撑架的每层上表面设有若干个支撑脚。
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