[发明专利]一种用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置有效
| 申请号： | 201410855707.0 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105807572B | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 石硕;季汉川 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置，包括至少两片快门叶片，用于在快门关闭时切断曝光区域的光源；快门驱动臂，用于带动所述快门叶片同时开启或关闭；磁阻尼制动电机，用于驱动并制动所述快门驱动臂，磁阻尼制动电机通过所述快门驱动臂驱动并制动快门叶片。本发明公开的用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置提高了快门叶片开启或关闭的一致性，提高了快门装置曝光遮光效果；提高了快门叶片开启或关闭过程中的稳定性；快门叶片完成开启或关闭动作时，不需要通电流，磁阻尼制动电机可以使快门叶片保持开或者闭的状态，缩短控制电流持续的时间，减少热耗散，节约能源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 曝光 分系统 阻尼 快门 装置 | ||
【主权项】：
一种用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置，其特征在于，包括：至少两片快门叶片(1)，用于在快门关闭时切断曝光区域的光源；快门驱动臂(2)，用于带动所述快门叶片(1)同时开启或关闭；磁阻尼制动电机(3)，用于驱动并制动所述快门驱动臂(2)，所述磁阻尼制动电机(3)通过所述快门驱动臂(2)驱动并制动所述快门叶片(1)；所述磁阻尼制动电机(3)包括定子(301)、动子(302)和磁阻尼制动模块(303)，所述动子(302)相对于所述定子(301)以及所述磁阻尼制动模块(303)运动，所述动子(302)通过驱动框架(4)与所述快门驱动臂(2)连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410855707.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种闹钟铃声设置方法及装置
- 下一篇：一种浸没式光刻机浸液流场维持装置
