[发明专利]一种用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置

权利要求书

1.一种用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置，其特征在于，包括：

至少两片快门叶片(1)，用于在快门关闭时切断曝光区域的光源；

快门驱动臂(2)，用于带动所述快门叶片(1)同时开启或关闭；

磁阻尼制动电机(3)，用于驱动并制动所述快门驱动臂(2)，所述磁阻尼制动电机(3)通过所述快门驱动臂(2)驱动并制动所述快门叶片(1)；

所述磁阻尼制动电机(3)包括定子(301)、动子(302)和磁阻尼制动模块(303)，所述动子(302)相对于所述定子(301)以及所述磁阻尼制动模块(303)运动，所述动子(302)通过驱动框架(4)与所述快门驱动臂(2)连接。

2.根据权利要求1所述的用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置，其特征在于，所述定子(301)包括磁钢(3-2)，所述磁钢(3-2)一端连接有铁芯帽(3-3)，另一端连接有铁芯(3-4)。

3.根据权利要求1所述的用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置，其特征在于，所述动子(302)包括线圈骨架(3-5)，所述线圈骨架(3-5)上缠绕有动子线圈(3-6)，所述线圈骨架(3-5)是轴对称结构，所述线圈骨架(3-5)水平方向对称轴的上下方均固定有第一轴向充磁阻尼磁铁(3-71)和第二轴向充磁阻尼磁铁(3-72)，所述第一轴向充磁阻尼磁铁(3-71)和第二轴向充磁阻尼磁铁(3-72)之间设有第一法向充磁阻尼磁铁(3-81)和第二法向充磁阻尼磁铁(3-82)。

4.根据权利要求3所述的用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置，其特征在于，所述线圈骨架(3-5)水平方向对称轴两侧各设置的第一轴向充磁阻尼磁铁(3-71)充磁方向相同；所述线圈骨架(3-5)水平方向对称轴两侧各设置的第二轴向充磁阻尼磁铁(3-72)充磁方向相同；所述第一轴向充磁阻尼磁铁(3-71)和第二轴向充磁阻尼磁铁(3-72)充磁方向相反。

5.根据权利要求1所述的用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置，其特征在于，所述磁阻尼制动模块(303)呈上下对称结构，包括对向充磁的第一阻尼磁铁(3-101)和第二阻尼磁铁(3-102)，所述第一阻尼磁铁(3-101)通过第一阻尼簧片(3-111)与所述铁芯(4)固定连接，所述第二阻尼磁铁(3-102)通过第二阻尼簧片(3-112)与设置在所述磁阻尼制动电机(3)上的固定框架(3-9)固定连接。

6.根据权利要求1所述的用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置，其特征在于，所述快门驱动臂(2)是一个对称结构的四连杆机构，所述四连杆机构一个铰接端与所述快门叶片(1)铰接，另一对称的铰接端铰接有驱动框架(4)，所述驱动框架(4)与所述磁阻尼制动电机(3)连接。

7.根据权利要求1所述的用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置，其特征在于，所述快门叶片(1)为闸门式快门叶片。

8.根据权利要求1所述的用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置，其特征在于，所述快门叶片(1)由硬化铝或陶瓷片制成。

9.根据权利要求1所述的用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置，其特征在于，所述快门叶片(1)表面涂有反光材料。