[发明专利]用于真空镀膜生产线的全自动高效真空系统在审
| 申请号： | 201410851421.5 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN105803415A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 周保国 | 申请（专利权）人： | 周保国 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市中联专利代理有限公司 44274 | 代理人： | 朱以智 |
| 地址： | 510000 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空镀膜生产线的全自动高效真空系统，包括本体、本体盖板、抽气泵及首部气管和尾部气管，所述的抽气泵与首部气管连接，当所述的本体盖板盖在本体上时，所述的两抽气管在所述的接头处形成气密性连接；本发明可以节省用来进行两抽气管拆装工作的大量时间，从而大大提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 生产线 全自动 高效 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜生产线的全自动高效真空系统，其特征在于：包括本体、本体盖板、抽气泵、首部气管和尾部气管组成，所述抽气泵固定在本体盖板上，所述的抽气泵与首部气管一端连接，首部气管和尾部气管一端都具有与水平面平行的首部气管接头和尾部气管接头，首部气管接头水平面与本体上表面平齐或低于本体上表面，当所述的本体盖板盖在本体上时，所述的首部气管和尾部气管在所述的首部气管接头处和尾部气管接头形成气密性连接。
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