[发明专利]一种高效硅片切割用的切削液制备方法在审
申请号: | 201410846759.1 | 申请日: | 2014-12-31 |
公开(公告)号: | CN104593134A | 公开(公告)日: | 2015-05-06 |
发明(设计)人: | 聂金根 | 申请(专利权)人: | 镇江市港南电子有限公司 |
主分类号: | C10M173/02 | 分类号: | C10M173/02;C10N30/06 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212132 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种高效硅片切割用的切削液制备方法,其特征在于,所述制备方法如下:(1)按重量份数称取原材料如下:由乙二醇52-60份、油酸三乙醇胺1-3份、阴离子活性剂5-8份、非离子表面活性3-5份、清洗缓蚀剂2-5份、极压抗磨剂2-4份和水24-30份;(2)筛选:分别将各固体原料通过振动筛进行筛选;(3)混合:按重量份取出油酸三乙醇胺、阴离子活性剂、非离子表面活性剂、清洗缓蚀剂和极压抗磨剂,并全部倒入混合机中混合,混合时间为5-15分钟,得混合料A;(4)搅拌:将混合料A与由乙二醇和水通过搅拌机搅拌,搅拌时间为25-35分钟,得切削液。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 硅片 切割 切削 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种高效硅片切割用的切削液制备方法,其特征在于,其特征在于,所述制备方法如下:(1)按重量份数称取原材料如下:由乙二醇52‑60份、油酸三乙醇胺1‑3份、阴离子活性剂5‑8份、非离子表面活性3‑5份、清洗缓蚀剂2‑5份、极压抗磨剂2‑4份和水24‑30份;(2)筛选:分别将各固体原料通过振动筛进行筛选;(3)混合:按重量份取出油酸三乙醇胺、阴离子活性剂、非离子表面活性剂、清洗缓蚀剂和极压抗磨剂,并全部倒入混合机中混合,混合时间为5‑15分钟,得混合料A;(4)搅拌:将混合料A与由乙二醇和水通过搅拌机搅拌,搅拌时间为25‑35分钟,得切削液。
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