[发明专利]采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统

摘要

采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统，属于新型光学准直结构应用技术领域，为了解决现有光栅曝光系统无法满足曝光系统的精度要求问题，激光束投射到分光器，形成两束有一定角度的相干平行光，两束光分别两套完全相同的装置，其中一束光经过反射镜进入空间滤波器，去掉光学干扰后再进入准直结构，形成准直光后入射到光栅基底上，由于是两束相干平行光，它们在相干长度范围内相遇，产生出稳定的干涉条纹，将干涉条纹记录到光栅基底上；其特征是，所述准直结构为非球面单透镜，该非球面单透镜一面为非球面，另一面为平面，非球面满足下式R：非球面顶点的曲率半径；K：二次曲面系数，K>0；A＝B＝C＝D＝E＝F＝G＝H＝I＝0。

主权项

采用非球面透镜作为光学准直结构的光栅曝光系统，激光束投射到分光器(1)，形成两束有一定角度的相干平行光，两束光分别两套完全相同的装置，其中一束光经过反射镜(2)进入空间滤波器(3)，去掉光学干扰后再进入准直结构(6)，形成准直光后入射到光栅基底(5)上，由于是两束相干平行光，它们在相干长度范围内相遇，产生出稳定的干涉条纹，将干涉条纹记录到光栅基底(5)上；其特征是，所述准直结构(6)为非球面单透镜，该非球面单透镜一面为非球面，另一面为平面，所述非球面满足下式：$z=\frac{y^2}{R(1+\sqrt{1-(1+k)y^2/R^2})}+{\mathrm{Ay}}^4+{\mathrm{By}}^6+{\mathrm{Cy}}^8+{\mathrm{Dy}}^{10}+{\mathrm{Ey}}^{12}+{\mathrm{Fy}}^{14}+{\mathrm{Gy}}^{16}+{\mathrm{Hy}}^{18}+{\mathrm{Iy}}^{20}$其中，R：非球面顶点的曲率半径；K：二次曲面系数，K>0；A＝B＝C＝D＝E＝F＝G＝H＝I＝0。