[发明专利]一种由电磁特异表面构成的宽频THz波片

摘要

本发明属于电磁波偏振调控技术领域，具体为一种由电磁特异表面构成的宽频THz波片。整块波片制作在硅片衬底上，由底部背散射金属层、介质层以及表面各向异性特异介质层构成。本发明是基于“特异介质”“电磁特异表面”制作的反射型超宽带太赫兹波片，其工作频率为0.45THz到1.15THz。对于频率范围内特定极化角度φ入射的平面线偏振电磁波，其反射波可以以超过95%的效率产生90度极化偏转，且整体能量损耗很小（低于10%）；此外，对于斜入射的不同θ角度（50°以下），其效果略有下降，但仍能在较宽频带范围内达到超高的极化偏转效率。用户可以根据自己的需要制作相应结构波片，另外，可以通过等比例放大缩放结构尺寸来改变波片工作频率。

主权项

一种由电磁特异表面构成的宽频THz波片，其特征在于采用“电磁特异表面”，具体结构组成由下到上依次为：衬底，金属层，介质层，周期分布的十字型结构层，层与层之间直接堆叠；其中，十字型结构层中，组成十字形的两根主轴，其长度和宽度可以分别调控共振频率和品质因子；金属层作为结构层或者反射层，其厚度为30nm~100nm；介质层厚度大于金属层厚度，用于降低共振品质因子，提高带宽。