[发明专利]一种由电磁特异表面构成的宽频THz波片

权利要求书

1.一种由电磁特异表面构成的宽频THz波片，其特征在于采用“电磁特异表面”，具体结构组成由下到上依次为：衬底，金属层，介质层，周期分布的十字型结构层，层与层之间直接堆叠；其中，十字型结构层中，组成十字形的两根主轴，其长度和宽度可以分别调控共振频率和品质因子；金属层作为结构层或者反射层，其厚度为30nm~100nm；介质层厚度大于金属层厚度，用于降低共振品质因子，提高带宽。

2.根据权利要求1所述的由电磁特异表面构成的宽频THz波片，其特征在于根据频率和带宽的设计要求，通过调控十字型结构的两根轴的长度和宽度以及介质层厚度，得到在带宽范围内最接近设计要求几何结构参数；假设波片为xy平面，平面电磁波从垂直于xy平面的z方向入射，那么调整几何结构参数的原则如下：

（1）确定十字型结构的周期和介质层厚度：对于1/2波片和1/4波片两种设计，取介质层厚度为50-70um，周期为140-160um；

（2）确定十字型结构的长度、宽度：对于1/2波片，其十字结构的两根主轴长度分别为130-150um和30-50um，宽度为20-40um；对于1/4波片，其十字结构的两根主轴长度分别为100-120um和50-70um，宽度为20-40um。

3.根据权利要求1所述的由电磁特异表面构成的宽频THz波片，其特征在于所述衬底采用硅片或二氧化硅片。

4.根据权利要求1所述的由电磁特异表面构成的宽频THz波片，其特征在于所述金属层材料为金、银或铜。

5.根据权利要求1所述的由电磁特异表面构成的宽频THz波片，其特征在于所述介质层材料为聚酰亚胺树脂薄膜。

6.根据权利要求1所述的由电磁特异表面构成的宽频THz波片，其特征在于所述十字型结构层材料为金、银或铜。