[发明专利]一种硅基微环偏振解复用器

摘要

本发明公开了一种硅基微环偏振解复用器，包括硅衬底和包层，其特征在于，包括输入波导、横电模输出波导、横磁模输出波导、混合等离子体波导和微环；衬底位于包层内底部，混合等离子体波导和微环位于衬底表面；混合等离子体波导由下向上依次包括介质波导、填充层和金属覆盖层；所述介质波导紧贴衬底；输入波导通过混合等离子体波导连接横磁模输出波导；横电模输出波导连接另一混合等离子体波导，微环位于两混合等离子体波导之间。该偏振解复用器具有偏振解复用效率高、结构紧凑、制造难度低、价格相对低廉、可与基于微环谐振器的波分复用系统兼容等优点。

主权项

1.一种硅基微环偏振解复用器，包括硅衬底(6)和包层(7)，其特征在于，包括输入波导(1)、横磁模输出波导(2)、横电模输出波导(3)、混合等离子体波导(4)和微环(5)；衬底(6)位于包层(7)内底部，混合等离子体波导(4)和微环(5)位于衬底(6)表面；所述混合等离子体波导(4)由下向上依次包括介质波导(41)、填充层(42)和金属覆盖层(43)；所述介质波导(41)紧贴衬底(6)；输入波导(1)通过混合等离子体波导(4)连接横磁模输出波导(2)；横电模输出波导(3)连接另一混合等离子体波导(4)，微环(5)位于两混合等离子体波导(4)之间；通过微环谐振可使得横电模从下路横电模输出波导(3)输出，其中的谐振波长λC，根据相位关系，需要满足以下关系式：式中L为微环的周长，neff为微环的模式有效折射率，m为一正整数。