[发明专利]一种作为溅射靶材的铝靶材与铝合金背板的连接方法在审
| 申请号： | 201410808342.6 | 申请日： | 2014-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN104646817A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 万小勇;罗俊锋;董亭义;高岩;王越;孙秀霖;刘书芹;曾浩;徐学礼;刘晓 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料有限公司 |
| 主分类号： | B23K15/00 | 分类号： | B23K15/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘茵 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种作为溅射靶材的铝靶材与铝合金背板的连接方法，包括如下步骤：在铝靶材连接面上加工出圆形凸台，在铝合金背板连接面上加工出与该凸台相对应的圆形嵌槽；将铝靶材的凸台嵌合在铝合金背板的嵌槽中；采用真空电子束焊接将靶材与背板边缘进行封焊；将靶材组件进行热处理，加热温度为150-450℃，保温时间0.5-2h；将热处理后的靶材组件直接热压，压强为80～250MPa，保压时间0.2-2h。该方法未使用包套，直接采用真空电子束对靶材与背板进行封焊，封焊后的靶材和背板组件采用加热加压的方法进行连接，加热温度低，连接压力小，对设备要求低，采用新型齿形设计，可保证靶材材料完全填充齿形缝隙，提高了结合强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 作为 溅射 铝靶材 铝合金 背板 连接 方法 | ||
【主权项】：
一种作为溅射靶材的铝靶材与铝合金背板的连接方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：I.在铝靶材连接面上加工出圆形凸台，在铝合金背板连接面上加工出形状、位置与该凸台相对应的圆形嵌槽；II.将铝靶材的凸台嵌合在铝合金背板的嵌槽中；III.采用真空电子束焊接将靶材与背板边缘进行封焊形成靶材组件；IV.将靶材组件进行热处理，加热温度为150‑450℃，保温时间0.5‑2h；V.将热处理后的靶材组件热压，压强为80～350MPa，保压时间0.2‑2h。
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