[发明专利]一种靶台动密封的方法在审
| 申请号： | 201410788991.4 | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN105880125A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 赵官源 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/12 | 分类号： | B05D1/12;B05D3/12;H01J37/317;H01J37/02;F16J15/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种靶台动密封的方法，包括：顶架腔(一)(1)涂层(2)、U型密封圈(3)、O型密封圈(4)、转动腔体(5)。说明书对一种靶台动密封的方法作出了详细说明，并给出了具体实施方案。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 靶台 密封 方法 | ||
【主权项】：
一种靶台动密封的方法，其特征在于：顶架腔(一)(1)陶瓷涂层(2)、U型密封圈(3)、O型密封圈(4)、转动腔体(5)。
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