[发明专利]测量大直径圆环面平面度的装置及方法有效

专利信息
申请号: 201410788237.0 申请日: 2014-12-17
公开(公告)号: CN104515481A 公开(公告)日: 2015-04-15
发明(设计)人: 陈宝刚;张景旭;吴小霞;徐伟;张岩 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 陶尊新
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 测量大直径圆环面平面度的装置及方法,涉及机械加工装调检测领域的测量技术,解决现有圆环平面度的测量装置存在结构复杂和使用受限的问题,现在测量方法由于存在测量精度低而导致测量误差大等问题,包括精密转台、内调焦光管、光纤点光源、转台调平机构、测杆和CCD探测器。本方法首先利用内调焦光管把光纤点光源成像在被测圆环面上方,精密转台带动点光源的像点旋转在空间画圆,然后以此圆所在的平面为基准,用CCD探测器接收点光源像点,根据脱靶量测出被测点与基准平面的距离,最后通过数据处理计算即可得到被测圆环面的平面度。本发明测量精度高,数据处理简单,操作方便,效率高,成本低;本发明适用于大尺寸圆环件平面度的检测。
搜索关键词: 测量 直径 圆环 平面 装置 方法
【主权项】:
测量大直径圆环面平面度的装置,包括精密转台(5)、内调焦光管、光纤点光源(4)、转台调平机构(6)、测杆(7)和CCD探测器(1);精密转台(5)放置在转台调平机构(6)上,内调焦光管固定在精密转台(5)台面上,其特征是,所述内调焦光管光轴与精密转台(5)的旋转轴垂直,所述精密转台(5)的旋转轴与被测圆环面(8)的中心重合,所述光纤点光源(4)连接在内调焦光管的焦点位置,CCD探测器(1)靶面与测杆(7)的轴线平行,测杆(7)轴线与被测圆环面(8)垂直,测杆(7)头部为球面,且与被测圆环面(8)为点接触。
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