[发明专利]一种多晶硅薄膜的检测装置及检测方法

摘要

本发明涉及一种多晶硅薄膜的检测装置及检测方法，该检测装置包括：供发射光束的一发射单元、供接收反射光束的一接收单元、一控制单元、以及一影像侦测单元，所述控制单元分别连接控制所述发射单元、所述接收单元和所述影像侦测单元，所述控制单元接收所述发射单元、所述接收单元和所述影像侦测单元传送的信号，通过接收到的信号逻辑判断所述多晶硅薄膜的图像缺陷。提高多晶硅薄膜的检测准确度，减少人眼主观判断的错误率，相对于传统的裂片检测有效地缩短检测时间。

主权项

1.一种多晶硅薄膜的检测装置，其特征在于，包括：发射单元，用于向待测多晶硅薄膜发射探测光束；接收单元，用于接收由所述发射单元所发射的探测光束经所述待测多晶硅反射的探测反射光束；控制单元，连接于所述发射单元和所述接收单元，用于根据获得的所述发射单元发送的探测光束信号和所述接收单元接收的探测反射光束信号而检测所述待测多晶硅薄膜表面的缺陷密度，并在检测到所述待测多晶硅薄膜表面的缺陷密度为不合格时发出结束检测的中断信号以及在检测到所述待测多晶硅薄膜表面的缺陷密度为合格时发出控制信号；影像侦测单元，连接于所述控制单元，用于根据所述控制单元发送的控制信号而对多晶硅薄膜进行拍摄并将拍摄所形成图像信号传送给所述控制单元，以供所述控制单元根据所述图像信号判定所述待测多晶硅薄膜的图像缺陷。