[发明专利]基于石墨烯的太赫兹波透射型调制器有效
申请号: | 201410765861.9 | 申请日: | 2014-11-28 |
公开(公告)号: | CN105892102B | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 肖丙刚;陈静;谢治毅 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学 |
主分类号: | G02F1/01 | 分类号: | G02F1/01 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种墓于石墨烯的太赫兹波透射型调制器,其结构包括将CVD方法产生的单层石墨烯转移到石英玻璃基板上,并将硅/二氧化硅薄膜覆盖在石墨烯上,其中硅/二氧化硅薄膜的表面积要略小于石英玻璃基板的表面积,且硅/二氧化硅薄膜是二氧化硅朝向石墨烯,而金属电极在未覆盖硅/二氧化硅薄膜的石墨烯上,并在硅基板和金属电极上连接调制信号源,最后载波源垂宜入射硅薄膜。本发明调制器为场调制器的一种,在调制信号电压从0V~50V变化,载波源为0.6THz时,调制深度可以得到81.3%,可以对施加的载波源得到很好的调制。本发明结构简单紧凑、体积小,易于集成,控制简单并且使用范围广。 | ||
搜索关键词: | 基于 石墨 赫兹 透射 调制器 | ||
【主权项】:
基于石墨烯的太赫兹波透射型调制器,包括:硅薄膜1、二氧化硅薄膜2、石英玻璃基板3、单层石墨烯4、金属电极5、调制信号源6、载波源7。
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