[发明专利]一种快速检测显影液显影效力的方法有效
| 申请号： | 201410765178.5 | 申请日： | 2014-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN104458823A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 窦盈莹;李发宏;罗伯特·安德鲁·海耶斯;水玲玲;唐彪;周国富 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学;深圳市国华光电科技有限公司;深圳市国华光电研究所 |
| 主分类号： | G01N27/06 | 分类号： | G01N27/06;G03F7/30 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 唐致明 |
| 地址： | 510631 广东省广州市大学城*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速检测有机或碱性显影液显影效力的方法，首先通过在同一显影条件下，通过测量显影不同片数基板时对应的显影液电导率，得到显影液电导率与显影片数的关系曲线，即标准曲线；然后结合显影工艺的参数控制，通过计算获得具有适宜显影效力的显影液的电导率值，作为目标电导率；测量显影液的实际电导率，与目标电导率进行对比，判断显影液的显影效力；根据设定的标准显影时间以及标准曲线估算下次测量时间；及测量的实际电导率值超出或等于目标电导率时，更换新鲜显影液。有效降低了显影液的更换更换频率，同时降低了不良产品出现的几率，节约成本，提高良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 检测 显影液 显影 效力 方法 | ||
【主权项】：
一种快速检测显影液显影效力的方法，其特征在于，所述显影液为碱性显影液或有机显影液，所述方法包括以下步骤：获得标准曲线：在同一显影条件下，通过测量显影不同片数基板时对应的显影液电导率，得到显影液电导率与显影片数的关系曲线，即标准曲线；结合显影工艺的参数控制，通过计算获得具有适宜显影效力的显影液的电导率值，作为目标电导率；测量显影液的实际电导率，与目标电导率进行对比，判断显影液的显影效力；根据设定的标准显影时间以及标准曲线估算下次测量时间；及测量的实际电导率值超出或等于目标电导率时，更换新鲜显影液。
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