[发明专利]一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置有效
| 申请号： | 201410754619.1 | 申请日： | 2014-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN104386683A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 钟达;史浩飞;邵丽;张鹏飞;余杰 | 申请（专利权）人： | 重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | C01B31/04 | 分类号： | C01B31/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 401329 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置，包括底板、与底板固定连接的固定柱、下夹具和上夹具；所述下夹具和上夹具用于固定石墨烯薄膜支撑层，所述固定柱上设置有多个凹陷，用于固定下夹具和上夹具。本发明能够同时对多个生长有石墨烯薄膜的催化基底进行刻蚀，提高生产效率，同时生产工装装置具有结构简单，易于制造的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 转移 石墨 薄膜 生产 工装 装置 | ||
【主权项】：
一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置，其特征在于：包括底板（1）、与底板固定连接的固定柱（2）、下夹具（4）和上夹具（5）；所述下夹具（4）和上夹具（5）用于固定石墨烯薄膜支撑层，所述固定柱（2）上设置有多个凹陷（3），用于固定下夹具（4）和上夹具（5）的组合。
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