[发明专利]一种长管件内壁镀膜的电弧离子镀装置有效
| 申请号： | 201410749141.3 | 申请日： | 2014-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN104451562A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 宋贵宏;陈立佳;杜昊;迟松江;肖金泉 | 申请（专利权）人： | 沈阳工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/50 |
| 代理公司： | 沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 | 代理人： | 宋铁军 |
| 地址： | 110870 辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜和涂层制备领域，具体地说是研制一种特殊的电弧离子镀柱状靶弧源及附属部件，用以在长管件内表面和深孔器件孔内壁沉积薄膜和涂层，实现军工和特殊部件内壁表面改性目的。其特征在于：该长管件内壁镀膜的电弧离子镀装置，设有真空室、柱状靶弧源、引弧装置、固定管件的样品架、圆形均气管、样品架加热系统、阴极靶材与样品架偏压系统、抽真空系统、控制柜、阴极靶电源、偏压电源和工作台。本发明的目的是提供一种新型的由柱状靶弧源及附属部件实现长管件内壁镀膜的电弧离子镀装置，用以实现对长管件内表面和深孔器件孔内壁防护和改性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 长管件 内壁 镀膜 电弧 离子镀 装置 | ||
【主权项】：
一种长管件内壁镀膜的电弧离子镀装置，其特征在于：该长管件内壁镀膜的电弧离子镀装置，设有真空室、柱状靶弧源、引弧装置、固定管件的样品架、圆形均气管、样品架加热系统、阴极靶材与样品架偏压系统、抽真空系统、控制柜、阴极靶电源、偏压电源和工作台。
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