[发明专利]一种光学零件的偏心量测量装置及其测量方法

摘要

本发明公开了一种光学零件的偏心量测量装置，包含用于对待测光学元件进行偏心量测量，包含底座；立柱式导轨，其底面固定在所述底座上；载物台，与所述立柱式导轨并排设置在所述底座上，所述载物台可沿底座前后左右滑动；平行光管，滑动设置在立柱式导轨上；待测光学元件，设置在载物台上，反射平行光管发出的平行光；图像传感器，接收待测光学元件反射平行光；图像传感器通过一连接构件与立柱式导轨连接，且平行光管与图像传感器呈一预设夹角；数据处理单元，与图像传感器连接。本发明还公开了一种光学零件的偏心量测量方法。本发明能够方便直观的检测卡塞格林系统非球面光学零件的偏心量，装置结构简单，光路易调整，且可靠性高、误差小。

主权项

一种光学零件的偏心量测量装置，用于对待测光学元件（5）进行偏心量测量，其特征在于，包含：底座（1）；立柱式导轨（2），其底面固定在所述底座（1）上；载物台（3），与所述立柱式导轨（2）并排设置在所述底座（1）上，所述载物台（3）可沿底座（1）前后左右滑动；平行光管（4），滑动设置在立柱式导轨（2）上，且位于载物台（3）上方，平行光管（4）与载物台（3）之间的高度可调；待测光学元件（5），设置在载物台（3）上，反射平行光管（4）发出的平行光；图像传感器（6），接收待测光学元件（5）反射的平行光；所述图像传感器（6）通过一连接构件（7）与所述立柱式导轨（2）连接，且所述平行光管（4）与图像传感器（6）呈一预设夹角；数据处理单元，与所述图像传感器（6）连接；所述的连接构件（7）包含转接板（71）及平移台（72）；所述的转接板（71）与所述立柱式导轨（2）滑动连接；所述的平移台（72）滑动设置在转接板（71）上；所述的图像传感器（6）设置在平移台（72）上；所述的平行光管（4）中设有双十字丝分划板；所述的待测光学元件（5）为非球面中间有孔径的光学零件。