[发明专利]一种材料缺陷检测设备以及材料缺陷检测方法有效
| 申请号： | 201410735904.9 | 申请日： | 2014-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN104458834A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 温银堂;张玉燕;潘钊;王洪斌;梁波;王洪瑞;王文魁;赵丽梅;刘志亮 | 申请（专利权）人： | 燕山大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 066004 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种材料缺陷检测设备以及材料缺陷检测方法，包括：平面阵列传感器、控制电路和结果输出模块，其中：平面阵列传感器，包括：多个检测电极、端部屏蔽电极、极间屏蔽电极、传感器基板、信号线和基板背面屏蔽层，其中：控制电路与多个检测电极相连，用于控制对多个检测电极的电压激励；多个检测电极以阵列方式排列在传感器基板的上方，传感器基板的背面覆盖有基板背面屏蔽层，以及分布有信号线；信号线与多个检测电极相连，且与结果输出模块相连，用于将检测信号传输给结果输出模块；结果输出模块用于根据检测信号输出对应的检测结果。采用本发明方案，实现了对材料内部的无损检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 材料 缺陷 检测 设备 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种材料缺陷检测设备，其特征在于，包括：用于检测的平面阵列传感器、控制电路和结果输出模块，其中：所述平面阵列传感器，包括：多个检测电极、端部屏蔽电极、极间屏蔽电极、传感器基板、信号线和基板背面屏蔽层，其中：所述控制电路与所述多个检测电极相连，用于控制对所述多个检测电极的电压激励；所述多个检测电极以阵列方式排列在所述传感器基板的上方，所述多个检测电极之间分布所述极间屏蔽电极，在所述多个检测电极和所述极间屏蔽电极四周分布所述端部屏蔽电极，所述极间屏蔽电极与所述端部屏蔽电极分别接地；所述传感器基板的背面覆盖有所述基板背面屏蔽层，以及分布有信号线；所述信号线与所述多个检测电极相连，且与所述结果输出模块相连，用于将检测信号传输给所述结果输出模块；所述结果输出模块用于根据检测信号输出对应的检测结果。
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