[发明专利]7700nm长波通红外滤光敏感元件

摘要

本发明公开了一种7700nm长波通红外滤光敏感元件，包括以Ge为原材料的基板，以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层，且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间。本发明所得到的一种7700nm长波通红外滤光敏感元件，其在温度测量过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度，适合于大范围的推广和使用。该滤光敏感元件50％Cut on=7700nm，7800～11000nm，Tavg≥90%，8000～11000nm，T≥88%，1500～7400nm，T≤3%。

主权项

一种7700nm长波通红外滤光敏感元件，包括以Ge为原材料的基板（2），以Ge、ZnS为第一镀膜层（1）和以Ge、ZnS为第二镀膜层（3），且所述基板（2）设于第一镀膜层（1）与第二镀膜层（3）之间，其特征是所述第一镀膜层（1）由内向外依次排列包含有167nm厚度的Ge层、239nm厚度的ZnS层、225nm厚度的Ge层、415nm厚度的ZnS层、138nm厚度的Ge层、342nm厚度的ZnS层、138nm厚度的Ge层、256nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、266nm厚度的ZnS层、159nm厚度的Ge层、505nm厚度的ZnS层、142nm厚度的Ge层、249nm厚度的ZnS层、126nm厚度的Ge层、276nm厚度的ZnS层、395nm厚度的Ge层、180nm厚度的ZnS层、168nm厚度的Ge层、492nm厚度的ZnS层、133nm厚度的Ge层、629nm厚度的ZnS层、185nm厚度的Ge层、266nm厚度的ZnS层、313nm厚度的Ge层、503nm厚度的ZnS层、141nm厚度的Ge层、589nm厚度的ZnS层、193nm厚度的Ge层、367nm厚度的ZnS层、348nm厚度的Ge层、897nm厚度的ZnS层、70nm厚度的Ge层、294nm厚度的ZnS层、49nm厚度的Ge层、406nm厚度的ZnS层、621nm厚度的Ge层、959nm厚度的ZnS层；所述的第二镀膜层（3）由内向外依次排列包含有180nm厚度的Ge层、375nm厚度的ZnS层、312nm厚度的Ge层、620nm厚度的ZnS层、385nm厚度的Ge层、535nm厚度的ZnS层、266nm厚度的Ge层、577nm厚度的ZnS层、95nm厚度的Ge层、555nm厚度的ZnS层、295nm厚度的Ge层、581nm厚度的ZnS层、370nm厚度的Ge层、660nm厚度的ZnS层、350nm厚度的Ge层、810nm厚度的ZnS层、277nm厚度的Ge层、670nm厚度的ZnS层、416nm厚度的Ge层、744nm厚度的ZnS层、279nm厚度的Ge层、582nm厚度的ZnS层、530nm厚度的Ge层、660nm厚度的ZnS层、243nm厚度的Ge层、581nm厚度的ZnS层、563nm厚度的Ge层、1081nm厚度的ZnS层。