[发明专利]涂敷装置及其改良方法有效
| 申请号： | 201410705063.7 | 申请日： | 2014-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN105312193B | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 魏志丹;横山雅树 | 申请（专利权）人： | 中外炉工业株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C13/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂敷装置及其改良方法，该涂敷装置具备涂敷对象物的移送功能，能够使设备节约空间化，并且在因设备的布局变更等进行移动设置时，也不会招致成本提高。在涂敷装置(1)中，具有喷出涂敷液的喷嘴(7)的移动体(6)与载置于工作台(4)的基板(3)相对移动，向基板涂敷从喷嘴喷出的涂敷液，支承基板且将其向工作台移送的支承臂(10)设于移动体。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 及其 改良 方法 | ||
【主权项】：
1.一种涂敷装置，其中，具有喷出涂敷液的喷嘴的喷嘴单元与载置于工作台的涂敷对象物相对移动，向涂敷对象物涂敷从该喷嘴喷出的涂敷液，所述涂敷装置的特征在于，所述工作台具备支承涂敷对象物且能够升降的顶杆，支承涂敷对象物且将其向所述工作台移送的支承臂设于所述喷嘴单元，所述支承臂进入到处于借助所述顶杆而上升后的状态的涂敷对象物的下方，通过该顶杆下降，所述支承臂对涂敷对象物进行支承，所述顶杆通过上升而抬起支承于所述支承臂的状态下的涂敷对象物并对其进行支承。
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