[发明专利]一种太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201410686903.X | 申请日： | 2014-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN105605814B | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 杜淼;郝雷;杨海龄;张子楠;余航;王笑静;于庆河;刘晓鹏;蒋利军 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | F24S70/225 | 分类号： | F24S70/225;B32B15/04;B32B9/04;B32B33/00;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青;熊国裕 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法。该吸收涂层从基底向外，依次为金属红外高反射层、吸收层、减反射层和保护层，其中吸收层由过渡金属氮氧化物MoxAl1‑xOyN1‑y或WxAl1‑xOyN1‑y构成，其中，x＝0.1‑0.9，y＝0.1‑0.9。其制备方法，包括以下步骤：(1)采用直流磁控溅射法在基底表面制备金属红外高反射层；(2)采用Mo或W和Al纯金属靶，或者采用固定成分的MoAl或WAl靶，氩气、氮气和氧气气氛下共溅射形成吸收层；(3)选择Al靶，采用直流或中频磁控溅射法制备减反射层；(4)选择Si靶，采用直流或中频磁控溅射法制备保护层。本发明的吸收涂层具有光学性能优良、耐高温能力强、耐候性良好等特点，在制备工艺方面易于实现且调控简单，适用于平板集热器在我国的应用现状。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳 光谱 选择性 吸收 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种太阳光谱选择性吸收涂层，其特征在于：从基底向外，依次为金属红外高反射层、吸收层、减反射层和保护层，其中吸收层由过渡金属氮氧化物MoxAl1‑xOyN1‑y或WxAl1‑xOyN1‑y构成，其中，x＝0.1‑0.9，y＝0.1‑0.9；所述吸收层为成分渐变的多亚层结构。
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