[发明专利]一种红外波段光阑复合膜、制备方法及复合材料有效

专利信息
申请号: 201410684767.0 申请日: 2014-11-25
公开(公告)号: CN104354365A 公开(公告)日: 2015-02-18
发明(设计)人: 刘凤玉;刘佳琳;王一坚;陈小鹏 申请(专利权)人: 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
主分类号: B32B9/04 分类号: B32B9/04;B32B15/00;C23C14/08;C23C14/18
代理公司: 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 代理人: 牛爱周
地址: 471009 *** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明公开了一种红外波段光阑复合膜、制备方法及复合材料,属于光学薄膜制造技术领域。本发明红外波段光阑复合膜,具有双层膜结构,第一层为二氧化铪膜层,第二层为铬膜层,与氟化钙基底的结合力强,内应力小,采用照相复制法制备红外光阑工艺性好。本发明红外波段光阑膜层的制备方法,采用蒸镀的方式镀制二氧化铪膜层和铬膜层,而且分两次镀制铬膜层,确保后序采用照相复制法制备光阑线条平整光滑,无透光点,本发明制备方法工艺流程简单,易于操作实现,适于工业化推广应用。本发明红外波段光阑复合材料,基底材料为氟化钙,内层膜为二氧化铪膜层,外层为铬膜层,铬膜层与氟化钙的结合能力强,工艺性能好。
搜索关键词: 一种 红外 波段 光阑 复合 制备 方法 复合材料
【主权项】:
一种红外波段光阑复合膜,其特征在于,所述复合膜具有两层膜结构,其中第一层膜材料为二氧化铪,第二层膜材料为铬。
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