[发明专利]一种红外波段光阑复合膜、制备方法及复合材料

权利要求书

1.一种红外波段光阑复合膜，其特征在于，所述复合膜具有两层膜结构，其中第一层膜材料为二氧化铪，第二层膜材料为铬。

2.如权利要求1所述的红外波段光阑复合膜，其特征在于，所述第一层膜的厚度为50~60nm。

3.如权利要求1所述的红外波段光阑复合膜，其特征在于，所述第二层膜的厚度为600nm。

4.一种如权利要求1所述的红外波段光阑复合膜的制备方法，其特征在于，包括以下操作步骤：

1）被镀零件清洗后放入真空镀膜设备中，抽真空；

2）镀制二氧化铪膜层至所需二氧化铪膜层厚度；

3）镀制铬膜层至所需铬膜层厚度的2/3；

4）取出被镀零件清洗后重新放入真空镀膜设备，抽真空，镀制铬膜层至所需的铬膜层厚度，即完成红外波段光阑复合膜的制备。

5.如权利要求4所述的红外波段光阑复合膜的制备方法，其特征在于，所述被镀零件的材料为氟化钙。

6.如权利要求4所述的红外波段光阑复合膜的制备方法，其特征在于，步骤1）中所述抽真空至1×10^-3Pa~8×10^-4Pa。

7.如权利要求4所述的红外波段光阑复合膜的制备方法，其特征在于，步骤2）中二氧化铪膜层的具体镀制方法为：二氧化铪膜料放在坩埚内进行蒸镀，蒸镀时真空度为5×10^-3Pa～1×10^-3Pa，蒸发速率为0.2nm/s～0.4nm/s。

8.如权利要求4所述的红外波段光阑复合膜的制备方法，其特征在于，步骤3）和步骤4）中铬膜层的镀制方法为：铬膜料放在坩埚内进行蒸镀，蒸镀时真空度为1×10^-3Pa~8×10^-4Pa，蒸发速率为0.6nm/s～0.8nm/s。

9.如权利要求7或8所述的红外波段光阑复合膜的制备方法，其特征在于，所述蒸镀的蒸发源为电子束蒸发源或电阻蒸发源。

10.一种使用如权利要求1所述的复合膜的红外波段光阑复合材料，其特征在于，包括基底和附着在基底上的复合膜，所述基底材料为氟化钙，所述复合膜的内层膜材料为二氧化铪，外层膜材料为铬。