[发明专利]一种硅电容麦克风

摘要

本发明提供了一种硅电容麦克风，包括敏感结构及与其配套的集成电路，其中敏感结构的数目多于一个并分为两组，所有敏感结构的敏感运动方向相同，这两组敏感结构各自接入一路所述集成电路中的电压偏置电路；在受外界声学信号后，得到对应这两组敏感结构的两路电信号，所述集成电路对这两路电信号进行融合处理后输出；所述两路电压偏置电路产生的偏置电压大小相同，符号相反或相同。本发明能在现有工艺水平下，提高硅电容麦克风的灵敏度、信噪比、线性度等技术性能指标和可靠性、零件通用性等工程指标，拓宽产品的应用场合，增加产品竞争力。

主权项

1.一种硅电容麦克风，其特征在于，包括敏感结构及与其配套的集成电路，其中：所述敏感结构的数目多于一个并分为两组，各所述敏感结构的敏感运动方向相同，该两组敏感结构分别接入一路所述集成电路中的电压偏置电路；在受外界声学信号后，该两路电压偏置电路分别得到对应所述两组敏感结构的两路电信号，所述集成电路对所述两路电信号进行融合处理后输出；其中，所述两路电压偏置电路产生的偏置电压大小相同，符号相反或相同，并且互不相关；所述两组敏感结构中每组包含的敏感结构的个数、尺寸、材料参数和连接方法完全相同，并通过相同的接法分别接入本组对应的电压偏置电路。