[发明专利]一种优化准分子激光微透镜阵列均束装置的方法

摘要

一种优化准分子激光微透镜阵列均束装置的方法，属于激光外光路系统的设计及其应用领域。通过使用激光光束分析仪拍摄得到准分子激光光斑能量分布图像(1)，将像素所携带的光能量强度信息量化并根据微透镜单元所形成的光通道划分成网格区域，分别选择围绕光轴对称、光能量互补的一对区域计算其像素所表示的光能量通过其光通道(2)在均束平面(3)上的落点位置，根据两光通道在均束平面叠加后的均束效果优化光通道中微透镜单元的光学参数。重复该过程并应用于所有关于光轴对称的光通道，最终可以得到具有良好均束效果的光学系统。本发明以显著提升准分子激光微透镜阵列均束装置的均束效果。

主权项

一种优化准分子激光微透镜阵列均束装置的方法，其特征在于：具体步骤如下： 步骤一，通过激光光束分析仪拍摄得到入射光学系统的准分子激光光斑能量分布图像，将像素所携带的光能量强度信息量化，并根据微透镜单元所形成的光通道划分成网格区域； 步骤二，分别选择围绕光轴对称、光能量互补的一对区域计算其像素所表示的光能量通过其光通道在均束平面上的落点位置； 步骤三，根据步骤二追踪到的关于光轴对称的两个光通道内各像素所表示的光能量在均束平面上的落点位置，分析能量叠加后的分布状态； 步骤四，根据步骤三所计算出的关于光轴对称的两个光通道光能量在光束均匀化平面上能量叠加后的分布状态，分析光能量的均匀度，通过迭代降低所划分好的能量接收单元的能量均方根偏差，优化光通道中微透镜单元的曲率； 步骤五，重复步骤二到步骤四，依次优化所有关于光轴对称的一对光通道内微透镜的曲率，完成对整个光学系统均束效果的优化。