[发明专利]激光等离子体谱测量装置

摘要

一种激光等离子体谱测量装置，其特征在于由激光激发和同步子系统、反射率监控子系统、等离子体光谱接收子系统和样品台子系统构成。该装置在通过激光等离子体光谱获得成分信息的同时，通过实时、原位反射率监控获得激光取样测量中与样品作用过程的信息和对样品的熔蚀深度，能及时调整已经散焦的透镜与样片的距离，为优化光谱测量参数提供参考。

主权项

一种激光等离子体谱测量装置，其特征在于该装置由激光激发和同步子系统、反射率监控子系统、等离子体光谱接收子系统和样品台构成；所述的激光激发和同步子系统包括激发光源(1)、分光片(2)、第一聚焦透镜(3)、第一光电探测器(4)和示波器(5)，沿所述的激发光源(1)的激光输出方向依次是分光片(2)、第一聚焦透镜(3)和样品(18)，在所述的分光片(2)的反射光方向是第一光电探测器(4)，该第一光电探测器(4)的输出端接所述的示波器(5)的输入端；所述的反射率监控子系统由探测光源(6)、衰减片(7)、第二聚焦透镜(8)、第三聚焦透镜(9)、滤波片(10)、第二光电探测器(11)和示波器(5)构成，沿所述的探测光源(6)的激光输出方向依次是所述的衰减片(7)、第二聚焦透镜(8)和样品(18)，在经过样品(18)的探测光的反射方向依次是第三聚焦透镜(9)、滤波片(10)、第二光电探测器(11)，该第二光电探测器(11)的输出端接所述的示波器(5)的输入端；所述的等离子体光谱接收子系统由第四聚焦透镜(12)、光纤耦合探头(13)、光纤(14)、光谱仪(15)和计算机(16)构成，在经过样品(18)的激发光的接收方向依次是所述的第四聚焦透镜(12)、光纤耦合探头(13)、光纤(14)、光谱仪(15)，所述的光谱仪(15)的输出端接所述的计算机(16)的输入端；所述的样品台为电控样品移动台(17)，所述的计算机(16)的输出端接所述的电控样品移动台(17)的控制端，所述的样品(18)固定在所述的电控样品移动台(17)上，所述的第一聚焦透镜(3)、第二聚焦透镜(8)、第三聚焦透镜(9)和第四聚焦透镜(12)的焦点在所述的样品(18)的同一点。