[发明专利]覆铜用氮化铝基板的预处理方法有效
| 申请号： | 201410641972.9 | 申请日： | 2014-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN104402488A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 张振文;耿春磊;许海仙;崔嵩 | 申请（专利权）人： | 合肥圣达电子科技实业公司 |
| 主分类号： | C04B37/02 | 分类号： | C04B37/02;C04B41/85 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了氮化铝DBC板制备过程的关键工序—覆铜用氮化铝基板的预处理方法，该方法包括：第一步，氮化铝基板表面清洗；第二步，氮化铝基板表面活化，通过碱液使氮化铝暴露出新的、活性高的表面；第三步，氮化铝基板表面过渡层制备，过渡层为含锰、铜、钙、铝离子等的复合层；第四步，氮化铝基板表面进行热氧化处理，形成复合改性层。本发明降低了氮化铝DBC工艺中氮化铝表面预处理的苛刻条件；制备的氮化铝过渡层为复合氧化层，高温下能顺利与无氧铜片表面的氧化铜充分润湿、铺展，并发生反应形成键合，氮化铝与铜片之间附着力强度高，孔洞率低，产品抗温度循环性能良好。 | ||
| 搜索关键词： | 覆铜用 氮化 铝基板 预处理 方法 | ||
【主权项】：
覆铜用氮化铝基板的预处理方法，其特征在于，包括如下步骤：第一步，氮化铝基板表面清洗；第二步，氮化铝基板表面活化：将氮化铝基板浸入到NaOH溶液，用超声清洗工艺使得表面均匀一致，去掉氮化铝基板表面氧化层，露出崭新的氮化铝表面；第三步，制备氮化铝基板表面过渡层，将活化过的氮化铝基板浸入浸渍液中，然后缓慢匀速提拉出浸渍液，在氮化铝基板形成薄的涂层，再将浸渍后的氮化铝基板经过100~300℃的预处理，然后自然冷却，涂层形成为均匀一致薄膜，即为过渡层；第四步，将已经形成过渡层的氮化铝基板表面进行热氧化处理，形成复合氧化层；第五步，将预氧化好的氮化铝基板与预氧化好的铜片，通过工装夹具装好，进行第一面和第二面烧结。
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