[发明专利]多晶硅铸锭炉的隔热块及包括该隔热块的多晶硅铸锭炉有效
申请号: | 201410631857.3 | 申请日: | 2014-11-11 |
公开(公告)号: | CN104372403A | 公开(公告)日: | 2015-02-25 |
发明(设计)人: | 方海生;王森;蒋志敏;郑江;张梦杰;金泽林 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 李智 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于多晶硅铸锭炉的隔热块,设置在多晶硅铸锭炉的坩埚底部外周,用于坩埚加热或冷却多晶硅过程中的隔热保温,该隔热块为中空方形筒体结构,筒体筒壁为中空夹层结构,其中内壁用于包覆设置在坩埚底部的热交换块外周壁面,且该内壁与所述热交换块外周壁面具有间隙,所述外壁用于与设置在坩埚外围的竖直隔热板固定接触,所述坩埚中心线、热交换块中心线以及隔热块中心线重合,且所述隔热块顶部低于热交换块顶部。本发明还公开了具有该隔热块的铸锭炉。本发明不仅可以缩短硅锭铸造过程中化料时间,降低能耗,而且能够有效抑制形核初期坩埚壁附近晶粒优先生长,获得微凸和比较平直的凝固界面,进而提高硅锭质量。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 隔热 包括 | ||
【主权项】:
一种用于多晶硅铸锭炉的隔热块,设置在多晶硅铸锭炉的坩埚(6)底部外周,用于坩埚(6)加热或冷却多晶硅(7)过程中的隔热保温,其特征在于,该隔热块(2)为中空方形筒体结构,筒体筒壁为中空夹层结构,其中内壁用于包覆设置在坩埚(6)底部的热交换块(4)外周壁面,且该内壁与所述热交换块(4)外周壁面具有间隙,所述外壁用于与设置在坩埚(6)外围的竖直隔热板(1)固定接触,所述坩埚(6)中心线、热交换块(4)中心线以及隔热块(2)中心线重合,且所述隔热块(2)顶部低于热交换块(4)顶部。
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