[发明专利]多晶硅铸锭炉的隔热块及包括该隔热块的多晶硅铸锭炉有效
申请号: | 201410631857.3 | 申请日: | 2014-11-11 |
公开(公告)号: | CN104372403A | 公开(公告)日: | 2015-02-25 |
发明(设计)人: | 方海生;王森;蒋志敏;郑江;张梦杰;金泽林 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 李智 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 隔热 包括 | ||
1.一种用于多晶硅铸锭炉的隔热块,设置在多晶硅铸锭炉的坩埚(6)底部外周,用于坩埚(6)加热或冷却多晶硅(7)过程中的隔热保温,其特征在于,该隔热块(2)为中空方形筒体结构,筒体筒壁为中空夹层结构,其中内壁用于包覆设置在坩埚(6)底部的热交换块(4)外周壁面,且该内壁与所述热交换块(4)外周壁面具有间隙,所述外壁用于与设置在坩埚(6)外围的竖直隔热板(1)固定接触,所述坩埚(6)中心线、热交换块(4)中心线以及隔热块(2)中心线重合,且所述隔热块(2)顶部低于热交换块(4)顶部。
2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭炉的隔热块,其中,所述隔热块(2)顶部为平面,底部的内壁面呈内低外高的锥面,使得该隔热块(2)内壁面的底部为内凹的锥形。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于多晶硅铸锭炉的隔热块,其中,所述隔热块(2)底板设置有可上下移动的底部隔热板(8),该底部隔热板(8)与所述热交换块(4)底部设有间隙,且该间隙与所述筒体筒壁的中空层相通。
4.一种多晶硅铸锭炉,其具有上述权利要求1-3中任一项所述的隔热块。
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