[发明专利]一种测量自由曲面面型的装置和方法有效
| 申请号： | 201410616937.1 | 申请日： | 2014-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN104315993A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;谭久彬;王红婷 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种测量自由曲面面型的装置和方法属于光学显微成像领域；该装置包括：待测样品、电致发光薄膜和正负微电极、物镜、滤光片、管镜、分光镜、第一CCD、第二CCD、光学成像测量部分组成，该方法通过在样品表面镀电致发光荧光介质膜，通电后样品表面被点亮，结合光学探测光路即可实现自由曲面面型的测量，通过电致发光来代替传统的光学照明，避免了由于照明孔径带来的大曲率部分不可测的问题，使用第一CCD、第二CCD进行差动探测，可以提高系统信噪比，从而测量法线与轴向夹角大的样品表面形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 自由 曲面 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种测量自由曲面面型的装置，其特征在于，包括：电致发光膜照明部分和光学成像测量部分(9)；所述的电致发光膜照明部分由待测样品(1)、镀在样品(1)表面的电致发光薄膜(2)成，所述的电致发光薄膜(2)上有微电极；所述的光学成像测量部分(9)沿收集光信号传播方向依次设置物镜(3)、滤光片(4)、管镜(5)、分光镜(6)、第一CCD(7)和第二CCD(8)；所述的第一CCD(7)和第二CCD(8)对称离焦放置。
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