[发明专利]高温超导薄膜微波表面电阻分布测试装置及方法有效
| 申请号： | 201410610448.5 | 申请日： | 2014-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN104316769A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 曾成;补世荣;宁俊松;陈柳;张其劭 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温超导薄膜微波表面电阻分布测试装置及方法，测试装置包括测试座、固定组件、校准组件和密封盖，其工作谐振模式为TE012。测试座包括屏蔽壳体、输入耦合结构、输出耦合结构、支撑环、介质柱和金属圆环。测试座加载被测超导薄膜构成谐振器，固定组件用于被测超导薄膜的固定，密封盖用于谐振器内外的隔绝。本发明的有益效果是：(1)解决了在超导薄膜微波表面电阻分布测试中测试装置的分辨率、灵敏度与通用性之间的矛盾；(2)能有效地防止被测超导薄膜被压坏；(3)能够有效地避免发生直接耦合，具有较高的测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 超导 薄膜 微波 表面电阻 分布 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种高温超导薄膜微波表面电阻分布测试装置，其特征在于：包括测试座(1)、固定组件、校准组件以及密封盖(5)；所述测试座(1)包括屏蔽壳体(6)、输入耦合结构(8)、输出耦合结构(9)、支撑环(10)、介质柱(11)和金属圆环(12)；所述介质柱(11)固定在支撑环(10)上后再固定在屏蔽壳体(6)上内；所述金属圆环(12)固定在屏蔽壳体(6)内壁上；所述输入耦合结构(8)和输出耦合结构(9)设置在屏蔽壳体(6)侧壁上的相对两侧；屏蔽壳体(6)、介质柱(11)和金属圆环(12)三者的端面处于同一平面上，共同构成测试座(1)的测试平面；被测超导薄膜(2)或校准组件置于测试座(1)的测试平面上；所述被测超导薄膜(2)通过固定组件加以固定；所述密封盖(5)罩住被测超导薄膜(2)及固定组件，或罩住校准组件；密封盖(5)与测试座(1)的端面密封固定并可拆卸。
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