[发明专利]一种数值孔径可控的微透镜阵列的电辅助制造方法有效

专利信息
申请号: 201410604446.5 申请日: 2014-10-30
公开(公告)号: CN104330841A 公开(公告)日: 2015-02-04
发明(设计)人: 邵金友;李祥明;田洪淼;黎相孟;胡鸿;姜承宝 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: G02B3/00 分类号: G02B3/00;G02B26/00;B81C1/00
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 贺建斌
地址: 710049*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种数值孔径可控的微透镜阵列的电辅助制造方法,采用透明导电玻璃作为基材,先在基材上制备介电层,再在介电层上制备微型液滴阵列,然后搭接直流电源,将透明导电玻璃的导电面接入电压负极端,并将插入微型液滴的铜丝电极接入电压的正极端施加电压,增大电压可减小微型液滴的表观接触角,同时增大微型液滴的曲率半径,对不同的微型液滴施加不同的电压可获得不同的曲率半径,最后撤去电压并抬起铜丝电极,采用紫外灯箱辐照将成型的微型液滴阵列固化,获得变数值孔径的固态微透镜阵列,本发明在电润湿作用下能够精确且可重复地调控微型液滴的接触角,实现了在同一个光学器件上获得具有不同数值孔径的微透镜阵列。
搜索关键词: 一种 数值孔径 可控 透镜 阵列 辅助 制造 方法
【主权项】:
一种数值孔径可控的微透镜阵列的电辅助制造方法,其特征在于,包括以下步骤:1)准备透明导电玻璃作为基材;2)在透明导电玻璃基材的导电面上制备介电层;3)在介电层表面施加微型液滴阵列;4)搭接直流电源,将透明导电玻璃的导电面接入电压的负极端,并将插入微型液滴的铜丝电极接入电压的正极端,闭合电源开关对微型液滴施加电压;5)在电润湿作用力的驱动下,增大所施加的直流电压将会减小微型液滴的表观接触角,进而增大微型液滴的曲率半径,因此对不同的微型液滴施加不同的直流电压获得不同的曲率半径;6)断开直流电压电源,抬起铜丝电极,采用紫外灯箱辐照使电场辅助形变的微型液滴阵列固化,进而获得具有变数值孔径的固态微透镜阵列。
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