[发明专利]测量AR减反膜厚度和折射率的方法在审
| 申请号： | 201410603824.8 | 申请日： | 2014-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN104296671A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 尚修鑫 | 申请（专利权）人： | 苏州精创光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/55 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量AR减反膜厚度和折射率的方法，本发明的AR减反膜测量方法涉及的装置结构简单，测量速度快，测量准确的特点，与椭偏仪相比，本测量方法无活动部件，所以运行的可靠性很高，同时信号采集速度也很高，所以可以用于在线测量。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 ar 减反膜 厚度 折射率 方法 | ||
【主权项】：
一种测量AR减反膜厚度和折射率的方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将两个光源 (1)所打出的宽光谱通过光学系统(3)斜入射光打到AR减反膜(6)膜面的同一点，光线接收器(4)得到反射光并通过光纤或其他光学系统导入光谱分析装置(5)中，光谱分析装置(5)把各波段的光谱信号通过数据线传到计算装置(2)里面，计算装置(2)由光谱信号计算出ＡＲ减反膜(6)的膜面在两个角度的相对于波长的反射率曲线；2）计算装置(2)再通过预先储存的程序，对两个反射率曲线进行分析，计算出在膜厚为a, 折射率为某个波长的函数或某个常数时，膜面的反射率曲线和测量的反射率曲线最接近，从而膜的厚度和折射率被同时测得。
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